SETO 1.67 fotokromisk objektiv SHMC

1) Hvad er spincoating?

Spincoating er en procedure, der bruges til at afsætte ensartede tynde film på flade underlag.Normalt påføres en lille mængde belægningsmateriale på midten af ​​underlaget, som enten spinder ved lav hastighed eller slet ikke spinder.Substratet roteres derefter med hastigheder op til 10.000 rpm for at sprede belægningsmaterialet ved centrifugalkraft.En maskine, der bruges til spincoating, kaldes en spincoater eller blot spinner.
Rotationen fortsættes, mens væsken spinder af kanterne af substratet, indtil den ønskede tykkelse af filmen er opnået.Det påførte opløsningsmiddel er normalt flygtigt og fordamper samtidigt.Jo højere vinkelhastigheden er, jo tyndere er filmen.Tykkelsen af ​​filmen afhænger også af viskositeten og koncentrationen af ​​opløsningen og opløsningsmidlet.Banebrydende teoretisk analyse af spincoating blev foretaget af Emslie et al., og er blevet udvidet af mange efterfølgende forfattere (inklusive Wilson et al., der studerede spredningshastigheden i spincoating; og Danglad-Flores et al., der fandt en universel beskrivelse for at forudsige den aflejrede filmtykkelse).
Spincoating er meget udbredt til mikrofremstilling af funktionelle oxidlag på glas- eller enkeltkrystalsubstrater ved hjælp af sol-gel-prækursorer, hvor det kan bruges til at skabe ensartede tynde film med nanoskala tykkelser.[6]Det bruges intensivt i fotolitografi til at afsætte lag af fotoresist omkring 1 mikrometer tykt.Fotoresist roteres typisk med 20 til 80 omdrejninger i sekundet i 30 til 60 sekunder.Det er også meget udbredt til fremstilling af plane fotoniske strukturer lavet af polymerer.
En fordel ved spincoating af tynde film er ensartetheden af ​​filmtykkelsen.På grund af selvnivellering varierer tykkelserne ikke mere end 1 %.Spincoating af tykkere film af polymerer og fotoresist kan imidlertid resultere i relativt store kantperler, hvis planarisering har fysiske grænser.